연산 2600톤 규모 N₂O 제조설비 증설
[에너지신문] 대성산업가스가 최근 충남 공주시 검상산업단지에 위치한 공주특수가스공장 내에 초고순도 아산화질소(N₂O)를 제조하는 제2공장을 완공하고 본격 생산에 들어갔다.
산업용가스와 특수가스 전문기업인 대성산업가스(대표이사 김형태, 김신한)는 초고순도 아산화질소(N₂O) 증설을 통해 특수가스 공급능력 향상과 고객사 안정공급에 기여하고 있다.
이번에 대성산업가스가 증설한 N₂O 제조설비는 연산 2600톤 규모다. 이에 따라 대성산업가스는 N₂O 총 생산능력이 연산 4300톤 규모로 크게 늘어났다.
특수가스의 일종인 고순도 N₂O는 반도체 및 OLED 제조공정에서 모노실란(SiH₄)과 결합해 실리콘옥사이드(SiO₂) 산화막을 증착시키는 데 사용하고 있으며, 수요량이 해마다 증가하는 추세다.
대성산업가스 특수가스영업본부 이원호 전무는 “이번 아산화질소 제조설비 증설로 국내 주요 반도체, 디스플레이 분야 고객 뿐만 아니라 일본, 대만, 중국 등 해외 고객들에게도 고품질의 제품을 안정적으로 공급할 수 있게 됐다”라며 “고객사의 차세대 반도체 및 OLED 양산에 크게 기여할 수 있을 것으로 기대한다”고 밝혔다.
그동안 대성산업가스는 디스플레이 및 반도체 산업에서 공정용으로 사용되는 다양한 특수가스를 국산화해 왔으며, 모노실란(SiH₄), 육불화황(SF6), 암모니아(NH₃), 포스핀(PH₃) 혼합가스, 디클로로실란(DCS), 액체헬륨(LHe), 사불화탄소(CF₄), 엑시머레이저가스 등을 정제, 충전, 제조하고 있다. 특히 국내에서는 유일하게 엑시머 레이저(Excimer LASER) 가스의 주요 원료인 Ne을 직접 생산하고 있다.
또한 제논(Xe), 크립톤(Kr) 등 희가스의 국내 제조를 검토하고 있으며, 자체 기술로 연구 개발을 마친 주요 특수가스에 대해서도 상용화할 계획인 것으로 알려지고 있다.
한편 2013년 중국에 자회사로 설립한 대성(광저우)기체유한공사는 최신 ASU플랜트와 SiH₄, NF₃, NH₃, He 등 주요 특수가스 제조, 저장설비를 갖추고 있다.
또 반도체 및 디스플레이 산업에서 수요가 급속히 증가될 것으로 기대되는 NF₃생산을 위해 2015년 중국화공집단공사 계열사인 리밍화공연구설계원유한책임공사와 합작으로 리밍대성불화공유한공사를 설립했으며, 가동 3년차인 올해 제1공장을 풀가동하고 있으며 지난 10월에는 제2공장을 완공하고 본격적인 생산에 들어간 것으로 전해졌다.
아울러 중국 LED시장을 겨냥해 안후이성 허페이에 대성(허페이)기체유한공사를 설립하고 NH₃플랜트를 가동하고 있다.