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[세미콘코리아 2018] SK머티리얼즈
국내 최초 NF3 생산, IT소재 선도위해 역량 집중 나서
2018년 02월 05일 (월) 17:32:48 김진오 기자 kjo8@ienews.co.kr
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[에너지신문] SK머티리얼즈는 세미콘코리아 2018에 반도체와 디스플레이 공정에 사용되는 특수가스를 출품했다. 또한 SK머티리얼즈가 일본 트리케미컬(Tri-Chemical)과 합작해 2016년에 설립한 SK트리켐도 반도체용 전구체(Precursor) 제품을 선보였다.

SK머티리얼즈는 국내 최초로 삼불화질소(NF3)를 생산, 국산화에 성공했다. 현재 연간 1만 600톤 규모의 생산 설비를 보유하고 있다.

NF3는 반도체, TFT-LCD 및 태양전지의 제조공정에서 사용되며 CVD 공정 후 챔버 내부벽의 잔류물을 제거하기 위한 용도로도 이용된다.

   

SK머티리얼즈는 NF3 외에도 반도체 CVD 공정에서 주입해 Metal Contact를 형성하는데 쓰이는 육불화텅스텐(WF6), 반도체·TFT-LCD 및 태양전지 제조공정과 태양전지의 반사방지막 형성에 사용되는 모노실란(SiH4) 등 반도체, 디스플레이 공정용 특수가스를 생산 판매하고 있다.

SK머티리얼즈의 NF3, WF6, SiH4 생산량은 세계 1, 2위를 다툰다.

현재 SK머티리얼즈는 2016년 2월 SK그룹으로 인수되면서 특수가스뿐만 아니라 종합소재 기업으로 거듭나고자 기존사업에선 선제적으로 투자하고 제품 포트폴리오를 다각화해 사업 확장에 박차를 가하고 있다.

SK머티리얼즈는 SK트리켐 외에도 2016년 4월에 산업가스를 생산 판매하는 SK에어가스를 인수하고, 같은 해 12월 일본 쇼와덴코(Showa Denko)와 탄소·불소(CF)계 식각가스를 생산 판매하는 SK쇼와덴코를 합작 설립했다.

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