[세미콘코리아 2018] 린데코리아

[에너지신문] 독일 가스기술 전문업체 린데그룹 자회사인 린데코리아는 세미콘코리아 2018에서 아산화질소(N2O), 불소(F2) 제너레이터 등 반도체 디스플레이 공정에 활용되는 특수가스와 가스 엔지니어링 시스템을 선보였다.

린데그룹은 1895년 설립된 회사로 2017 회계연도 매출액은 약 170억유로(약 22조 1500억원)에 이른다. 창업자인 카를 본 린데 박사는 공기를 액화시켜 산소와 질소를 분리하는 원천 기술을 개발해 세계 산업용 가스 시장을 이끌었다는 평가를 받고 있다.

린데코리아의 엔지니어는 가스활용 제품 및 서비스와 관련해 세계에서 가장 많은 지식을 가지고 있다고 평가 받고 있다. 석유화학 제품 공정 및 정유분야에서 린데의 엔지니어들이 제공하는 공정 혁신 및 응용 전문성에 대한 다양한 정보는 수십 년 간의 경험과 입증된 실적을 바탕으로 한 결과다.

린데코리아의 반도체 디스플레이용 제품은 반도체 공정에서 실리콘다이옥사이드(SiO2) 박막을 증착할 때 사용하는 N2O다. SiO2는 D램과 낸드플래시 같은 메모리, 시스템반도체 칩에서 절연체 층으로 사용된다. 이 공정에서 활용되는 N2O는 절대 수요가 많고 그 비중도 계속 확대되고 있다. N2O는 또한 유기발광다이오드(OLED) 생산 공정에도 다량 사용되고 있다.

린데는 F2 가스의 공급역량에 대해서도 중점적으로 홍보하고 있다. 린데는 세계에서 유일하게 F2를 온사이트로 공급할 수 있는 기업이다. 린데코리아는 안정된 F2 공급을 위해 고객사 공장 부근에 설치해 사용할 수 있는 F2 제너레이터 시스템을 개발, 납품하고 있다.

F2는 실리콘(Si) 디퓨전 공정, TFT-LCD 챔버 세정의 기존 사용처 외에 에칭(식각)용 등으로 그 용도가 확대되고 있으며, 이미 실리콘 박막 제조공정에 대한 F2 적용 평가에서 사용가능성을 입증 받은 바 있다.

린데코리아는 현재 100가지가 넘는 특수가스와 혼합가스를 제공하고 있다. 최첨단 생산설비와 공정관리, 풍부한 글로벌 네트워크는 고객의 요구를 만족시키고 있다.